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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
2026-06-04 11:36:23
参考文献 下奧地利州縣份维也总面积969.7平方公里,纳新总人口71909,城乡村县 行政区域 维也纳新城乡村县辖有35个市镇。维也人口密度74人/平方公里(2001年)。纳新行政中心位于维也纳新城。城乡村县

维也纳新城乡村县()是维也奥地利下奥地利州所辖的一个县。

DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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  地处阊江与查溪河的交汇处,穿越神秘的北纬30度线,“安茶之乡”祁门县芦溪乡芦溪村群山环绕,溪水纵横,小小一叶茶,绿了山野,富了乡村。

  安茶始创于1725年,拥有近三百年悠久历史,曾一度在市场上销声匿迹。1988年,祁门县有关部门派科技人员深入安茶产地芦溪村,遍访当年安茶的制作经营者,经过艰辛努力,终于试制成功,得以恢复生产。此后经过10余年摸索创新,安茶在2003年逐步起势,到了2007年,安茶茶厂如雨后春笋般兴起,安茶产业发展正式迈入快车道。“现在我们芦溪村一共有2800多亩茶园,户均4.8亩的规模孕育出11家茶企,其中5家茶企年产值近千万元,2024年,芦溪村安茶产量突破400吨,产值达6000万元。据安茶协会统计,今年安茶产量达700吨,产值超亿元。”芦溪村党总支书记、村主任严正武笑着说,“这些年靠着生叶采摘和茶叶制作,村民的收入不断增加,从2020年到2024年这5年间,大家的人均年收入增长了3000元,芦溪的这片‘小茶叶’真正变成了富民增收‘金叶子’。”

  绿水青山间孕育生长出的不只“金叶子”,还催生出了“茶+研学”“茶+旅游”“茶+民宿”等新业态。

  “最初我只是经营一家农家乐,当时想着能给游客提供些乡村风味餐饮、简单住宿就行。后来游客越来越多,大家对体验式旅游需求也高,我就想着拓展,正好老村委会闲置,我便承包下来打造茶产业文旅园。”祁门县祁兰香茶产业文旅园主理人严君凤笑着说,“现在我们一共有18间客房,为了更好地满足游客的住宿需求,我们还打造了亲子房。除了餐饮、住宿外,又专门建了个小型茶博物馆开展研学活动,让学生们能更深入了解安茶。”据了解,祁兰香从2020年开业至今,来体验采茶、制茶等研学活动的已超5000人次,不少单位也会来此开展党建、团建活动。

  有人带头,大家的思路便活泛起来,纷纷把自家的“方寸之地”变成就地增收的“致富园”。现如今,芦溪村共有11家民宿,直接带动百余名村民实现家门口就业,编竹篓等配套产业,更让近百户家庭多了份稳定收入。

  从一片叶到一杯茶,从茶山到茶厂,从茶文化到茶文旅,芦溪村的“茶路”越走越宽,蓬勃的发展态势也吸引了更多外部品牌前来扎根。

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门头上方悬挂着一块巨大的灯箱广告,上面展示着店内最新的时尚款式,吸引了路过的顾客驻足观看。门柱子上镶嵌着亮丽的LED灯,夜晚时分,整个门头门柱子熠熠生辉,给人一种热闹、欢快的感觉。

设计费:根据设计师的经验和知名度,设计费一般在2000元至5000元之间。设计师会根据您的需求和店铺的特点,提供多个设计方案供您选择。材料费:原木风格门头设计需要使用到原木材料,价格会根据材料的种类和质量而有所不同。

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1、小型服装店装修效果图大全一 如图所示,这是一款谷子屋童装店,由于店铺面积的极限性,采用木质展示架作为收纳区域,既有大自然的感觉,又有休闲的情调。营造了轻松、舒缓的生活。

2、服装店装修效果图以上这张图片,是一个服装店装修比较简约的代表,主要采用黑色和白色,给人一种简约又大气的感觉。

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拼多多上有哪些卖衣服的宝藏店铺?

春釉服装专营店 这家店铺是属于KM设计师所设计的快时尚品牌,原创品牌,也是时尚男装现象级品牌。同时还拥有线下门店,覆盖全国169座城市,当时买的轻商务衬衫,49元拿下。

今天我们给大家分享一期宝藏拼多多女装店铺,今天分享的这些店铺大部分都是均价三四四五十只有的哦。

肉哥男装官方旗舰店 这是一件拼接开衫卫衣(如下图)。衣服特别的软,这个外套里面有薄薄的一层绒,特别薄,穿着还是比较舒服的。

他们家衣服普遍价格在50到80元之间,纯棉的面料通常58元,混合面料更透气通常68左右。邦迪斯顿 PANDIST 致臻专卖店 一个比较有个性的小品牌。

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1、田园风格:田园装修风格的店肆首先要有一个具有构思的店名显现才够味道。店肆规划能够选用落地式装饰,店肆不需要大,就让小小的店肆装饰上两个落地穿样式,木制的材质规划。

2、服装店装修效果图以上这张图片,是一个服装店装修比较简约的代表,主要采用黑色和白色,给人一种简约又大气的感觉。

3、服装店装修图片大全以上这张图片中的服装店采用的是,钱色调的装修,灰色的墙壁灰色的家具,看的让人十分地清爽,有一种一目了然的感觉。

淘宝买衣服怕和别人撞衫,这几个有独立设计师的店铺你知道吗?

1、衣服的设计其实真的是好看的,设计师创意力十足,衣服会比较有新意。

2、ans社交媒体大火的酷女主店:先锋中性用户之选、2019年在法国巴黎注册成立,设计师毕业于中央圣马丁学院,品牌风格上酷帅加点性感,裤子版型尤其出众。随意门SYM 配色绝美的法式艺术设计。

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4、MIA HAN密函设计师品牌:这也是一个原创设计师品牌店,已经有一部分的死忠粉。他们家的衣服比较偏御姐,穿起来有种高级感。

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广西新闻网-广西日报南宁讯(记者 玉智威 钟文昌 通讯员 蓝艺)记者从自治区体育局获悉,当地时间9月23日,在2023年贝尔格莱德摔跤世锦赛男子古典式摔跤第二个决赛日中,广西籍运动员曹利国获得60公斤级第三名,为中国摔跤队赢得该级别巴黎奥运会入场券。同时,这也是广西健儿获得的首张巴黎奥运会入场券。在结束世锦赛之旅后,曹利国将转战杭州亚运会,迎接更大的挑战。

作为巴黎奥运会门票争夺赛的世锦赛,高手云集,竞争惨烈。四分之一决赛,曹利国遭遇2021年东京奥运会亚军、3届世锦赛冠军日本选手文田健一郎,以1∶3的比分不敌对手。由于后者进入了冠亚军争夺战,曹利国获得复活赛资格。在复活赛中,他以9∶7的比分淘汰2021年世锦赛冠军、摩尔多瓦选手乔巴努,闯入季军争夺战,对手是亚美尼亚选手加里比扬。开局对方消极被判跪撑,曹利国抓住机会先得3分。下半场比赛,曹利国被判消极,比分来到3∶3。距离比赛结束不到一分钟时,双方仍在僵持。在对手后得分的不利情况下,曹利国仍努力找机会进攻。比赛仅剩最后2秒时,曹利国一记转移得分,绝杀对手,以5∶3拿下铜牌,获得直通巴黎奥运会的资格。同时,这枚铜牌也是广西古典摔跤在世锦赛上获得的首枚奖牌。

在结束世锦赛之旅后,曹利国将跟随国家队马不停蹄地转战杭州亚运会。“在小级别古典式摔跤方面,亚运会其实比世锦赛还难打。”广西重竞技运动发展中心古典式摔跤主教练易善军表示,小级别古典式摔跤世界排名前六的选手基本都在亚洲,可以说亚洲水平就是奥运会水平。因此,此次亚运会之旅,曹利国将面临更大的挑战。“这次亚运会,大家水平都很接近,要想取得好成绩,就看谁更敢想、敢拼,少犯错误。这几年曹利国进步很大,希望他在比赛中继续放手去拼,拼出一个好成绩。”

据介绍,曹利国将于10月4日出战杭州亚运会男子古典跤60公斤级的比赛。

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《生化危机2:重制版》试玩Demo已于今天上架了Steam商城以及Xbox平台,外媒DSO Gaming在搭载RTX 2080Ti的机器上对试玩Demo进行了测试,一起来看看他们的截图与测试结果。

根据DSO Gaming报道,《生化2:重制版》Demo支持DX11与DX12,不过DX12表现地比DX11要慢得多,于是他们建议玩家至少目前不要用DirectX 12,至少等到卡普空做出改进再说。

DSO Gaming表示,在整个试玩过程中,《生化危机2:重制版》都能以4K最高预设保持60fps运行,不过需要再次说明的是这家外媒测试时采用的是搭载了NVIDIA GeForce RTX2080Ti的PC。测试者表示这款游戏看起来相当美观,但是抗锯齿方案并不是那么的号。

最后让我们一起来欣赏一下DSO Gaming所截取的4K高清截图。

《生化危机2:重制版》试玩4K截图 RTX2080Ti显卡可60fps畅玩

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9月25日,杭州亚运会将产生38枚金牌。游泳赛场精彩继续,覃海洋、叶诗文、徐嘉余等游泳名将轮番登场;体操赛场同样值得关注,期待中国体操女团冲金成功。这些看点不容错过。

看点1:中国体操女团剑指冠军 48岁丘索维金娜再战亚运

9月25日,亚运会竞技体操女子资格赛暨团体决赛将拉开帷幕,竞技体操是中国代表团亚运冲金的传统优势项目,女队在亚洲的领军地位也一直十分稳固,已经实现女团12连冠。

本届亚运会虽然主场作战,但中国女子体操队面临的挑战却并不小,特别是最大对手日本队将对中国女团发起强有力的冲击。竞技体操女子资格赛暨团体决赛将于19:30开始,代表中国女团出战的章瑾、唐茜靖、虞琳敏、张欣怡、左彤将目标锁定为冠军。

同样值得关注的还有被中国网友亲切称为“丘妈”的乌兹别克斯坦体操运动员丘索维金娜,已经年满48岁的她,再次复出来到杭州亚运会。“我还没能为祖国乌兹别克斯坦拿到一枚(重要赛事的)奖牌,我不能就这样结束我的体操生涯。”

唯有热爱,可抵岁月漫长!这次杭州亚运会,她将取得怎样的成绩?让我们一起拭目以待。

看点2:游泳赛场精彩继续,覃海洋能否顺利拿下个人首金

9月25日,游泳项目将产生7枚金牌。覃海洋在男子100米蛙泳、徐嘉余在男子50米仰泳、万乐天和汪雪儿在女子50米仰泳、余依婷和叶诗文在女子200米个人混合泳上具备夺金实力。

覃海洋在24日晚的比赛中不敌队友汪顺,夺得男子200米混合泳亚军。他能否在游泳赛事第二日顺利拿下个人首金,备受关注。

中国香港名将何诗蓓在女子200米自由泳上有较强的实力;男子4×200米自由泳接力将是一场龙虎大战。

看点3:射击项目产生多金,男子10米气步枪、男子手枪速射值得关注

9月25日,射击项目将产生6枚金牌。其中男子10米气步枪、男子手枪速射项目中国队高手云集,盛李豪、余浩楠、杜林澍及在世锦赛25米手枪速射项目上创造世界纪录的老将李越宏将为观众奉献精彩表演。

看点4:团体半决赛开战!期待国乒男女队继续乘风破浪

9月24日,中国队选手马龙在比赛中回球。

9月25日,亚运会乒乓球项目将展开男女团体半决赛较量。

11:00,中国乒乓球女队将在半决赛与泰国队交锋,后者在四分之一决赛中以3比2险胜朝鲜队,另外一场半决赛将由韩国对阵日本。18:30,中国乒乓球男队将在半决赛中对阵中国台北,另外一场半决赛将在韩国与伊朗之间进行。值得一提的是,伊朗男乒在四分之一决赛中爆冷以3比0击败了日本队。这批黑马能否继续取得突破,我们拭目以待!

期待国乒将士披荆斩棘,晋级决赛!

资料来源:杭州亚运会官网、新华网、中国体育报、中国奥林匹克委员会微博、光明网、都市快报、新京报等,具体比赛情况以实际为准。

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亚运看点丨体操女团期待连冠,中国游泳军团能否再掀夺金潮
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